I primi Regierungsbezirke furono creati dal Regno di Prussia nel 1808/16, che divise le sue province in 25 Regierungsbezirke. I Regierungsbezirke della Renania Settentrionale-Vestfalia sono la diretta continuazione di quelli creati nel 1815. Altri stati dell'Impero tedesco crearono entità simili, chiamate Kreishauptmannschaft (in Sassonia) o Kreis (in Baviera e Württemberg) (da non confondere con i Kreis o Landkreis di oggi). Durante il Terzo Reich, il governo nazista unificò la denominazione; da allora tutte queste entità sono chiamate Regierungsbezirk.
Il 1° gennaio 2000 la Renania-Palatinato ha sciolto i suoi tre Regierungsbezirke Koblenz, Rheinhessen-Pfalz e Trier - i dipendenti e i beni delle tre Bezirksregierungen sono stati convertiti in tre autorità pubbliche responsabili per tutto lo stato, ognuna delle quali copre una parte delle precedenti responsabilità della Bezirksregierung.
Il 1° gennaio 2004, la Sassonia-Anhalt ha sciolto i suoi tre Regierungsbezirke: Dessau, Halle e Magdeburgo. Le responsabilità sono ora coperte da un Landesverwaltungsamt con tre uffici nelle ex sedi delle Bezirksregierungen.
Il 1° gennaio 2005, la Bassa Sassonia ha sciolto i suoi quattro Regierungsbezirke: Braunschweig, Hannover, Lüneburg e Weser-Ems.
Nel 2005, la Renania Settentrionale-Vestfalia ha pianificato di abolire i suoi cinque Regierungsbezirke e creare tre entità di autogoverno. Il vecchio Regierungsbezirk, "in stile prussiano", non aveva organi di autogoverno.
